发表于 2023-09-18 09:11 IP属地：未知
SSMB不是清华最早提出来的。2010年，美国斯坦福大学SLAC国家加速器实验室的赵午教授（Alex Zhao）和其博士生Ratner提出了SSMB的构想， 认为可以通过激光调制电子束，产生光刻机的光源。SLAC国家实验室有一台粒子加速器，本想通过这台加速器做相关研究，但后来发现不太合适，这台加速器直径80米，而SSMB需要50米直径的加速器，还有其它一些设备方面的原因，总之需要一台单独的专门的加速器，但赵教授没有相关经费，这事也就先搁下了。
赵午教授1970年生人，台湾清华大学毕业，赴美留学，后成为斯坦福大学物理学教授，在SLAC实验室工作。
2016年，赵成为北京清华的客座教授。大概在2017年，几名对此有兴趣的来自各地的专家组成了一个非正式的SSMB研究团队，包括赵教授和清华的教授等。团队决定先进行原理验证，应该是清华的教授申请下来了经费，于是与德国HZB研究中心和PTB研究院合作，利用其BESSY II射线源和MLS计量光源完成了验证，并于2021年在自然杂志发表了论文。下一步就是申请更多经费，建一个专门的SSMB加速器，或叫储存环，进行下一步研究，据说已经在白洋淀旁边开建了。
SSMB EUV这个概念有戏，但目前仅完成初步的原理验证，离落地应用还很远，尚有不少难点要攻克，而且还面临其它加速器光源技术的竞争，再说它解决的只是光源部分，真要加工5nm, 3nm芯片，光刻机的其它部分都得发力赶上才行，还远没到开香槟的时候。
京公网安备 11010102004670号